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12寸Sorter
简介：晶圆传片机（Sorter），适用于 12 英寸半导体晶圆，广泛应用于晶圆制造、先进封装、化合物半导体、Micro LED 等场景，可完成晶圆分拣、暂存、倒片与自动传输作业，满足产线洁净环境下的晶圆物料流转需求。
产品详情
详情介绍：
- 适用领域：晶圆制造、先进封装、化合物半导体、Micro LED 等领域，用于晶圆分拣、倒片、自动搬送与晶圆 ID 识别等工序；
- 配置双 Load Port 工位，可同时对接两组 FOUP 晶圆盒，提升晶圆上下料吞吐量；
- 整机洁净等级 Class 1，内置大气洁净机器人，实现高平稳、低颗粒污染的晶圆传输；
- 支持选配 Wafer ID 读取、机器人自动示教、FOUP 盒 RFID 识别等功能模块；
- 独立人机交互控制台，带声光报警指示灯，便于设备状态监控与产线联动。