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RSP purge站（88/96储位）
简介：直接充气式光罩柜，用于半导体光罩（掩膜版）的恒温恒湿氮气保存，广泛应用于晶圆制造、光刻工艺、先进封装等场景，可隔绝氧气、水汽与微粒污染，保护光罩光学面，延长掩膜版使用寿命，储位支持按需定制。
产品详情
详情介绍：
- 适用领域：晶圆制造、光刻工艺、先进封装等领域，用于光罩 / 掩膜版的存储、氮气保护与环境管控；
- 采用直接充气式氮气吹扫结构，可快速置换柜内空气，降低氧含量与湿度，防止光罩氧化、结雾；
- 多腔体独立存储设计，储位数量可根据项目需求定制，实现多片光罩分区存放管理；
- 配备温湿度、氧浓度实时监测，搭配声光报警功能，异常状态及时提示；
- 柜体采用洁净级材质，低析出、低颗粒，适配半导体洁净车间使用环境；
- 可选配通讯接口，支持与产线 MES 系统对接，实现光罩物料信息追溯管理。