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E-rack/常规货架
简介：e-Rack晶圆智能货架，是半导体工厂用于 FOUP 晶圆载具存储、物料智能管理的仓储设备，可实现晶圆盒的定点存放、自动识别与库存追踪，适配洁净车间环境，提升晶圆物料流转效率，实现 FAB 车间晶圆物料数字化管控。
产品详情
详情介绍：
- 适用领域：12 寸晶圆制造产线，用于 FOUP 晶圆载具的洁净存储、暂存与物料信息化管理；
- 模块化多层机架设计，储位可灵活配置，可同时存放多组 FOUP 晶圆载具，空间利用率高；
- 集成条码 / RFID 识别模块，自动读取晶圆载具信息，完成物料身份识别与库存记录；
- 洁净级机架材质，低发尘、低析出，满足半导体洁净车间使用要求；
- 支持对接 MES、EAP 产线系统，实现库存自动上报、物料状态监控与出入库追溯；
- 配备状态指示灯与触控显示屏，直观展示储位占用情况，方便现场人员管理；
- 可搭配 AMR / 机械手完成载具自动上下料，适配自动化晶圆工厂的物料流转方案。