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FOUP量测仪
简介：FOUP量测仪是对FOUP载具进行尺寸测量与状态检查的专用设备，可定期测量FOUP的关键尺寸，亦可选配缺陷检测和气密性检测功能，确保投入使用的载具满足使用要求，从源头降低载具不良带来的晶圆缺陷风险。
产品详情
详情介绍：
- 适用场景：定期测量FOUP的尺寸，也可选配缺陷检测和气密性检测，保障上线载具满足使用要求；
- 全面检查：可对FOUP门板开合机构、槽位、purge port等关键部位完整性及表面污染情况进行检查；
- 自动化检测：配置机械臂与高清检测相机，自动完成多工位检测，检测流程快、结果直观易判读；
- 提升良率：晶圆生产周期内大部分时间处于FOUP中，载具完整性管控可有效降低晶圆缺陷与良率损失；