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半自动FOUP清洗机
简介：半自动FOUP清洗机是用于清洗FOUP晶圆传送盒的专用设备，采用手动上下料方式，通过喷淋、超声波清洗及干燥等工艺，高效去除FOUP表面的颗粒、有机物及金属污染，保障载具洁净度，避免载具污染影响晶圆良率。
产品详情
详情介绍：
- 适用场景：手动上下料进行FOUP清洗，适用于前后道工序载具的定期清洁维护，前后道可分开配置；
- 多段清洗工艺：喷淋冲洗、超声波清洗、漂洗及干燥等多段流程组合，颗粒去除率高、清洗均匀；
- 洁净保障：采用DIW去离子水漂洗与洁净干燥技术，干进干出、无水渍残留，避免载具二次污染；
- 操作简便：PLC程序控制，清洗时间、温度等工艺参数可按需设定，兼容12英寸标准FOUP载具；