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光罩夹

简介:光罩夹是FAB黄光区用于手动拿取掩膜版(Mask)的专用夹持工具,单手即可完成光罩取放,避免手部直接接触光罩表面造成污染或损伤,广泛应用于光罩检查、更换与流转环节。 

产品详情

详情介绍:

  • 适用场景:FAB黄光区手动检查mask时使用,配合检查灯可对光罩表面particle及缺陷进行目检;
  • 防静电设计:配置接地线,可有效释放操作过程中的静电,避免ESD损伤光罩膜层与图形;
  • 操作便捷:杠杆式夹持结构,单手握持即可稳定夹取6寸标准光罩,取放平稳、不触碰光罩有效面;
  • 坚固耐用:金属支架搭配防静电材质手柄,结构轻巧、夹持可靠,适合洁净室长期使用;