产品中心
热门产品
13槽 12寸Frame Cassette
简介：12 寸 13 槽 Frame Cassette，用于承载带环（ring）晶圆，盒体与盖板一体化设计，便于 FAB 场内流转与自动化上下料。
产品详情
详情介绍：
- 适用领域：带 ring wafer 的载具，便于 FAB 场内流转；
- 13 槽标准槽位，可稳定承载 12 寸带环晶圆，防止运输过程中位移；
- 一体化盖板结构，闭合后形成相对封闭空间，减少 particle 侵入；
- 标准外形尺寸，兼容 FAB 现有搬运设备与存储货架；
- 可选配 RFID 识别，实现带环晶圆的批次与流向追溯。