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RSP
简介：用于 FAB 内掩膜版（Mask/Reticle）在不同机台之间的洁净流转与存储，是光罩在黄光区光刻机、检查机、清洗机之间转运的必备载具；标配单枚光罩承载，兼容 RSP 自动开合器与 Purge 站。
产品详情
详情介绍：
- 适用领域：FAB 内不同机台之间流转掩膜版（mask）的必备载具，覆盖黄光区各类光罩作业站点；
- 全封闭盒体设计，隔绝 particle 与 AMC 污染，保护光罩图形面不受损伤；
- 顶部标准抓取法兰，兼容 OHT 天车、Stocker 与 RSP 自动开合器，支持自动化存取；
- 内置缓冲与定位结构，运输过程中抑制光罩位移，降低破版风险；
- 可选配 RFID 识别与 N2/XCDA Purge 接口，配合 RSP Purge 站实现长时间控湿存储。