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强光灯

简介:强光灯(绿光表面检查灯)是FAB黄光区用于目检mask表面状态的专用照明设备,利用人眼对绿光最敏感的特性,可清晰显现光罩表面的particle、刮痕等微小缺陷,广泛应用于半导体、晶圆、玻璃等表面的微观缺陷检查。 

产品详情

详情介绍:

  • 适用场景:目检mask表面状态,particle或其他缺陷检查,亦可用于晶圆、LCD玻璃、金属等表面刮痕及灰尘检查;
  • 绿光光源:采用525nm绿光LED光源,人眼感知度高、不易疲劳,可精确检查到10μm以下的刮痕或微粒子;
  • 高照度设计:多光学透镜模组输出高照度平行光,灯头与底座角度可多向调节,检测灵活;
  • 冷光源免预热:LED即开即亮、无汞环保、寿命长,支持无极调光,可按检测需求灵活调节亮度;