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10槽/25槽 metal Cassette
简介：金属晶圆提篮采用不锈钢材质与开放式框架结构，可耐受高温退火等制程，适用于需要承受高温环境的晶圆承载与流转；可提供 10 槽、25 槽等规格。
产品详情
详情介绍：
- 适用领域：高温退火工艺需要用到能抗住高温的 metal Cassette；
- 全金属框架结构，耐高温、不变形，适用于炉管、退火等高温工况；
- 开放式镂空设计，利于工艺气体与热量均匀穿透，保证片内均匀性；
- 提手结构便于人工搬运与设备端取放，同时支持机械手自动上下料；
- 可提供 10 槽 / 25 槽等不同槽数规格，按制程需求选配。