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● 光源：375 nm、385 nm、405 nm 激光器
● 线宽：0.5μm、0.6μm、1.0μm、1.5μm
● 光刻效率：最快3000mm2/min@5μm
● XY行程：55~205mm
● 样品尺寸：最小3mm*3mm 最大8 inch
● 应用领域：生物芯片、功率芯片光刻、掩膜版制造、3D衍射光学元件、先进芯片封装、光通讯芯片光刻
● 光源：375 nm、385 nm、405 nm 激光器
● 线宽：0.5μm、0.6μm、1.0μm、1.5μm
● 光刻效率：最快3000mm2/min@5μm
● XY行程：55~205mm
● 样品尺寸：最小3mm*3mm 最大8 inch
● 应用领域：生物芯片、功率芯片光刻、掩膜版制造、3D衍射光学元件、先进芯片封装、光通讯芯片光刻