产品中心
热门产品
产品详情
详情介绍
● 解像力：≤350nm
● 投影倍率：1:5
● 市场尺寸：20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)
● 光源：i-Line 365nm
● 掩膜版尺寸：5inch/6inch(可选)
● 晶圆尺寸：50mm（2inch）/75mm（3inch）/100mm（4inch）/150mm（6inch）/200mm（8inch）（可选）
● 套刻精度：≤40nm
● 设备尺寸：（W）1900*（D）2600*（H）2450mm