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Nikon S204B扫描式光刻机
NikonS204B1.NikonS204B扫描式光刻机光源波长248nm分辨率优于0.18µm主要用于4寸、6寸及8寸生产线广泛应用于化合物半导体
产品详情
Nikon S204B
1.Nikon S204B扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.18µm
主要用于4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.18µm
N.A.0.68
曝光光源248nm
倍率4:1
最大曝光现场25mm*33mm
对准精度
LSA：40nm
FIA：45nm
3.更多服务
提供中英文软件及4"、6"、8"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材