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Nikon NSR 2205i11D步进式光刻机 立即咨询
NikonNSR2205i11D1.NikonNSR2205i11D步进式光刻机光源波长365nm分辨率优于0.4µm主要用于2寸、4寸、6寸及8寸
产品详情
Nikon NSR 2205i11D
1.Nikon NSR 2205i11D步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.4µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.4µm
N.A.0.63
曝光光源365nm
倍率5:1
最大曝光现场22mm*22mm
对准精度
LSA：75nm
FIA：80nm
3.更多服务
提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造。
常年提供所有备件、耗材。