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Nikon S308F扫描式光刻机
NikonS308F1.NikonS308F扫描式光刻机光源波长193nm分辨率优于0.07µm主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生产线广泛应用于化合
产品详情
Nikon S308F
1.Nikon S308F扫描式光刻机
光源波长193nm
分辨率优于0.07µm
主要用于4寸、6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.07µm
N.A.0.92
曝光光源193nm
倍率4:1
最大曝光现场26mm*33mm
对准精度12nm
3.更多服务
提供中英文软件及4"、6"、8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材