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Nikon NSR G线光刻机
NikonNSRG线光刻机1.NikonNSRG线步进式光刻机光源波长436nm分辨率优于0.65µm主要用于2寸、4寸、6寸生产线广泛应用于化合物
产品详情
Nikon NSR G线光刻机
1.Nikon NSR G线步进式光刻机
光源波长436nm
分辨率优于0.65µm
主要用于2寸、4寸、6寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.65µm
N.A.0.6
曝光光源436nm
倍率5:1
最大曝光现场15mm*15mm
17.5mm*17.5mm
对准精度140nm
3.更多服务
提供中英文软件及2"、4"、6"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材