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Nikon EX14C步进式光刻机
NikonEX14C1.NikonEX14C步进式光刻机光源波长248nm分辨率优于0.25µm主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线广泛应用于化合物
产品详情
Nikon EX14C
1.Nikon EX14C步进式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.25µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.25µm
N.A.0.6
曝光光源248nm
倍率5:1
最大曝光现场22mm*22mm
对准精度
LSA：55nm
FIA：65nm
3.更多服务
提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材