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Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机
CanonFPA5000ES41.CanonFPA5000ES4扫描式光刻机光源波长248nm分辨率优于0.13µm用于6寸、8寸及12寸生产线广泛
产品详情
Canon FPA5000 ES4
1.Canon FPA5000 ES4扫描式光刻机
光源波长248nm
分辨率优于0.13µm
用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.13µm
N.A.0.5-0.8
曝光光源248nm
倍率4:1
最大曝光现场26mm*33mm
对准精度25nm
3.更多服务
提供中英文软件及6" 、8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材