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Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机
NikonNSR2005i10C1.NikonNSR2005i10C步进式光刻机光源波长365nm分辨率优于0.45µm主要用于2寸、4寸、6寸及8
产品详情
Nikon NSR 2005i10C
1.Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.45µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.45µm
N.A.0.57
曝光光源365nm
倍率5:1
最大曝光现场20mm*20mm
对准精度
LSA：100nm
FIA：110nm