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● 满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求
● 直径200毫米的石英室
● 内部石英管的设计便于拆卸和清洗
● 基片尺寸可达直径150毫米
● 三区电阻炉，150毫米的均匀温度区
● 温度最高可达1000°C
● 使用节流型VAT蝶形阀下游压力控制在50 mTorr到500 mTorr之间
● 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 两级干式真空