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● 应用范围：对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触
● 加工尺寸：4inch、6inch
● 加工速度：1000mm/s
● 加工精度：±1μm
● 平台参数：行程300mm×300mm
● 重复定位精度：±0.001mm
● 激光器参数:紫外
● 稼动率:98%以上
● 重大故障间隙时间:＞1000H
● 良率:≥99.5%
● 应用范围：对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触
● 加工尺寸：4inch、6inch
● 加工速度：1000mm/s
● 加工精度：±1μm
● 平台参数：行程300mm×300mm
● 重复定位精度：±0.001mm
● 激光器参数:紫外
● 稼动率:98%以上
● 重大故障间隙时间:＞1000H
● 良率:≥99.5%