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激光退火设备

详情介绍;应用范围:对重掺杂碳化硅(SiC)表面沉积的过渡金属进行退火,形成良好的欧姆接触v 加工尺寸:4inch、6inchv 

产品详情
详情介绍

应用范围:对重掺杂碳化硅(SiC)表面沉积的过渡金属进行退火,形成良好的欧姆接触

● 加工尺寸:4inch、6inch

加工速度:1000mm/s

● 加工精度:±1μm

平台参数:行程300mm×300mm

重复定位精度:±0.001mm

● 激光器参数:紫外

稼动率:98%以上

重大故障间隙时间:>1000H

良率:≥99.5%