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磁控溅射镀膜机Sputter

详情介绍;应用领域:巨磁电阻(GMR)、组合材料科学(CMS)、半导体、超导体、纳米级器件、光子学、光伏(PV)、OLED(发光二极管)、有机薄膜v

产品详情
详情介绍

应用领域:巨磁电阻(GMR)、组合材料科学(CMS)、半导体、超导体、纳米级器件、光子学、光伏(PV)、OLED(发光二极管)、有机薄膜

最大样品尺寸:8英寸

溅射源:强磁靶、永磁靶,数量根据用户定制

电源:直流电源、射频电压

真空系统:超高真空

样品台加热:最高至1100℃

控制系统:全自动控制

进样室:根据用户需求定制