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产品详情
详情介绍
● 适用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘
● 自动滴胶功能
● 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制
● 转速范围：20-10000rpm
● 转速分辨率：±1rpm
● 加速度可调范围：20-50000rpm/s
● 单步时长：3000s
● 时间分辨率：0.1s
● 适用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘
● 自动滴胶功能
● 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制
● 转速范围：20-10000rpm
● 转速分辨率：±1rpm
● 加速度可调范围：20-50000rpm/s
● 单步时长：3000s
● 时间分辨率：0.1s