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热翘曲系统
详情介绍：最大样品尺寸 : 400 mm x 400 mm，最小样品尺寸 : 0.5 mm x 0.5 mm，在 2 秒内获得 140 万个数据点
产品详情
详情介绍
● 最大样品尺寸 : 400 mm x 400 mm
● 最小样品尺寸 : 0.5 mm x 0.5 mm
● 在 2 秒内获得 140 万个数据点
● Warpage 分辨率 <1 µm
● 最高每秒加热 3.5ºC 摄氏度
● 红外线加热和对流冷却来控制温度
● 高分辨率测量小型样品
● XY 轴应变 STRAIN 和热膨胀系数CTE 计算
● 支持从室温到 300ºC 以下的回流炉温度模拟，以及-50ºC 至 300ºC 度可靠性测试选项