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应用：用于半导体材料内部含量检测,同质外延厚度测量和其他应用，用于先进的半导体工厂，在硅生长和器件制造领域进行材料表征
● 光谱范围：远红外、中红外、近红外、可见光
● 信噪比：>55000:1
● 光谱分辨率（cm-1）：<0.09电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
应用：用于半导体材料内部含量检测,同质外延厚度测量和其他应用，用于先进的半导体工厂，在硅生长和器件制造领域进行材料表征
● 光谱范围：远红外、中红外、近红外、可见光
● 信噪比：>55000:1
● 光谱分辨率（cm-1）：<0.09电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm