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工业显微镜

详情介绍;支持通过光学显微镜或图像测量仪(如NikonNEXIV),对直径为6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的半导体晶圆的创新设计和材料进

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支持通过光学显微镜或图像测量仪(如Nikon NEXIV),对直径为6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的半导体晶圆的创新设计和材料进行全方位检测

超强的半导体晶圆装载机系列,能够将直径为6英寸(150mm)和8英寸(200mm)的晶圆转移到厚度为100微米(工厂制造选项)的尼康Eclipse L200N和LV150N显微镜或NEXIV VMZ-S视频测量仪器上

NWL200系列与尼康NEXIV影像测量仪器集成在一起,可在半导体生产和检测过程中快速         提供全精度和准确度

支持半导体晶圆前图案侧、后周边和中心区域检测。可自动或手动设置晶圆旋转速度和倾斜角度