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智能型多功能椭偏仪

详情介绍;SmartSE是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n,k)以及

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Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快,准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数(n, k)以及薄膜结构特性(如粗糙度、光学梯度及各向异性等)

光谱范围:450nm to 1000nm

光谱分辨率:优于3nm

光源:卤素灯和蓝光LED

测试时间:小于1秒到10秒

光斑尺寸:

1、 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

2、 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

3、 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

4、 500µm*500µm

入射角:450 to 900 ,步径50

样品尺寸:200mm以内

样品准直:手动调整样品台高度(17mm以内)和倾角

空气对射精度:Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

● 厚度准确性:0.04%

厚度重复性:±0.02%

● 可选附件:

1、 全自动量角器,入射角度从450 到900可调,步径0.010

2、 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测

3、 冷热台,液体样品池和电化学反应池

4、 十字星自准直系统