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实验室型等离子清洗机
详情介绍一、产品介绍：等离子清洗设备在材料学，光学，电子学，医药学，环境学、生物学等科研领域，主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。CIF推出的新一代等离
产品详情
详情介绍
一、产品介绍：
等离子清洗设备在材料学，光学，电子学，医药学，环境学、生物学等科研领域，主要用于材料表面进行清洗、活化、改性等目的。
CIF推出的新一代等离子体清洗设备，合理的结构设计，优化的腔体尺寸，使得处理样品更大，适用范围更广，性能更稳定，操作更简便，性价比更高，使用成本更低，实用性更强，更容易维护。
二、产品特点
● 7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。
● PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
● 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体分配均匀，经济实用。
● HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
● 316不锈钢、石英真空仓可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
● 采用60度倾角操作面板设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。
● 上控制下舱体结构设计，结构紧凑，占地空间小。
● 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门运输过程中不易损坏。
● 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
● 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
● 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。
三、技术参数
| 型号 |
CPC-F
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CPC-Fplus
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ICP3
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ICP3 plus
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舱体尺寸
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D200xΦ155mm
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D200xΦ155mm
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H120xΦ270mm
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H120xΦ270mm
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舱体容积
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3.8L
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3.8L
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3.8L
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3.8L
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射频电源
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40KHz
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13.56MHz
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40KHz
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13.56MHz
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匹配器
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自动匹配
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自动匹配
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自动匹配
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自动匹配
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激发方式
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电容式
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电容式
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电感耦合
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电感耦合
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射频功率
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10-300W可调
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10-150W可调
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10-300W可调
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10-150W可调
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气体控制
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双浮子流量计
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有效处理尺寸
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L200xW155mm
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产品尺寸
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L425xW420xH465mm
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包装尺寸
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L560xW545xH730mm
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时间设定
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1-99分59秒
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真空泵
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抽速4-8m3/h
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气体稳定时间
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1分钟
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真空度
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100pa以内
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电 源
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AC220V 50-60Hz
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