产品名称：离子束刻蚀机（IBE）

品牌型号：MKN-EMS

介绍：该系统是一台高真空单室离子束刻蚀系统，离子束刻蚀是利用低能量平行Ar+离子束对基片表面进行轰击，将基片表面未覆盖掩膜的部分溅射出，从而达到选择刻蚀的目的主要用来金属、合金、氧化物、化合物、混合材料、半导体、绝缘体、超导体等材料的刻蚀。系统主要由刻蚀室、考夫曼离子源及电源、水冷样品转台、泵抽系统、真空测量系统、气路系统、电控系统等组成。