系统功能简介

此套真空互联系统是专为多腔室薄膜沉积设备集群设计的超高真空样品传输与互联平台，可连接磁控溅射、电子束蒸发、热阻蒸发及有机蒸发等多种PVD工艺腔室，实现样品在不同工艺设备间的无大气暴露传输。系统支持8英寸、6英寸、4英寸等多种尺寸样片的全自动传递，配备样品库，全程保持高真空环境，有效避免样品氧化与污染，是开展高质量薄膜材料研究与器件制备的核心基础平台。

系统工作原理

真空互联系统以中央真空传输管道为核心，通过真空机械臂在各工艺腔室与进样室之间自动传送样品。系统采用全密封真空管道设计，配合高性能真空泵组维持管道内的超高真空环境，样品从进入进样室开始，经过真空传输、多腔室工艺加工、直至最终取出，全程不暴露大气，确保薄膜界面的原子级洁净度。进样室配备样品库可存储多片样品，反溅清洗功能可对样品表面进行原位等离子体清洗，进一步提升薄膜沉积质量。

设备应用场景

• 高校与科研院所多工艺薄膜沉积设备集群的真空互联
• 半导体器件、光电子器件多层薄膜连续制备
• 氧化物、氮化物、有机半导体等新型功能薄膜研究