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氮气柜
简介：防静电氮气柜，主要用于半导体元器件、晶圆、光罩等对湿度、静电敏感物料的存储保护，通过氮气置换降低柜内氧含量与湿度，同时具备防静电性能，有效防止物料氧化、受潮及静电损伤，广泛应用于 FAB 车间、先进封装等洁净产线。
产品详情
详情介绍：
- 适用领域：半导体制造、先进封装、电子元器件行业，用于晶圆、光罩、芯片等湿敏器件的防潮、防氧化、防静电存储；
- 采用氮气吹扫置换原理，快速置换柜内空气，可控制内部氧浓度与湿度，抑制氧化与水汽侵蚀；
- 柜体防静电设计，具备耐磨、耐高温特性，避免静电放电对精密半导体器件造成击穿损伤；
- 多门独立腔体结构，可分区存放物料，各仓门可独立开关，使用灵活；
- 搭载温湿度、氧浓度实时监测模块，支持声光报警，异常情况及时提醒；
- 低发尘柜体材质，适配洁净车间环境，可减少微粒污染；
- 可选配通讯接口，对接 MES 系统，实现存储物料信息追溯与状态监控。