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半导体参数测试仪

详情介绍:配备集成电脑及显示屏一体机箱,包含高精度电流测量模块、电容测量模块、超快脉冲模块,配合专用数据测量分析软件,无需外接其他仪表即可实现I-V曲线,I-t曲线,C-V曲线及C-f曲线的测量并能在屏幕实时显示测量结果

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配备集成电脑及显示屏一体机箱,包含高精度电流测量模块、电容测量模块、超快脉冲模块,配合专用数据测量分析软件,无需外接其他仪表即可实现I-V曲线,I-t曲线,C-V曲线及C-f曲线的测量并能在屏幕实时显示测量结果

电流测量精度≤0.1 fA,最小可测量电流≤20 fA

最大电流测量量程≥0.1 A,最大输出功率≥2 W

电流测量精度10 fA时,电流表的最短采样时间间隔100 μs

I-V特性测试及C-V特性测试切换时,无须更改电路

实现不同频率交流阻抗测量(C-V、C-f、C-t) 的测量,频率范围1 kHz-5 MHz,最小频率步进≤1 mHz

电容测量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF(5 MHz)

电容测量范围5 fF-1 nF,电压0至±25V,步进≤1 mV

具有脉冲输出及采集模块,脉冲输出电压峰值10 V

脉冲采样最大采样率≥200 MSa/s,最小采样时间5 ns

具有瞬态波形捕获模式

具有任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,可编程分辨率10 ns