半导体参数测试仪

v 配备集成电脑及显示屏一体机箱，包含高精度电流测量模块、电容测量模块、超快脉冲模块，配合专用数据测量分析软件，无需外接其他仪表即可实现I-V曲线，I-t曲线，C-V曲线及C-f曲线的测量并能在屏幕实时显示测量结果

v 电流测量精度≤0.1 fA，最小可测量电流≤20 fA

v 最大电流测量量程≥0.1 A，最大输出功率≥2 W

v 电流测量精度10 fA时，电流表的最短采样时间间隔100 μs

v I-V特性测试及C-V特性测试切换时，无须更改电路

v 实现不同频率交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） 的测量，频率范围1 kHz-5 MHz，最小频率步进≤1 mHz

v 电容测量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF（5 MHz）

v 电容测量范围5 fF-1 nF，电压0至±25V，步进≤1 mV

v 具有脉冲输出及采集模块，脉冲输出电压峰值10 V

v 脉冲采样最大采样率≥200 MSa/s，最小采样时间5 ns

v 具有瞬态波形捕获模式

v 具有任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率10 ns