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Nikon EX12B步进式光刻机
详情介绍 Nikon EX12B 1.Nikon EX12B步进式光刻机 光源波长248nm 分辨率优于0.3µm 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.3µm N.A.0.55 曝光光源248nm 倍率5:1 最大曝光现场22mm*22mm 对准精度 LSA：55nm FIA：65nm 3.更多服务 提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造 常年提供所有备件、耗材 |
