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Nikon SF120/130步进式光刻机
详情介绍 Nikon SF120/130 1.Nikon SF120/130步进式光刻机 光源波长365nm 分辨率优于0.28µm 主要用于6寸、8寸及12寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.28µm N.A.0.62 曝光光源365nm 倍率4:1 最大曝光现场25mm*33mm 对准精度LSA：40nm FIA：45nm 3.更多服务 提供中英文软件及6"、8"、12"设备硅片改造 常年提供所有备件、耗材 |
