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Nikon NSR 2205i12D步进式光刻机
详情介绍 Nikon NSR 2205i12D Nikon NSR 2205i12D步进式光刻机 光源波长365nm 分辨率优于0.4µm 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 产品详情 主要技术指标 分辨率 0.4µm N.A. 0.63 曝光光源 365nm 倍率 5:1 最大曝光现场 22mm*22mm 对准精度 LSA：60nm FIA：70nm 更多服务 提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造 常年提供所有备件、耗材 更多型号设备，欢迎致电或继续浏览我们的网站！ |
