Nikon NSR 2205i11D步进式光刻机

Nikon NSR 2205i11D

1.Nikon NSR 2205i11D步进式光刻机

光源波长365nm

分辨率优于0.4µm

主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.4µm

N.A.0.63

曝光光源365nm

倍率5:1

最大曝光现场22mm*22mm

对准精度

LSA：75nm

FIA：80nm

3.更多服务

提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造。

常年提供所有备件、耗材。