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Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机
详情介绍 Nikon NSR 2005i10C 1.Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机 光源波长365nm 分辨率优于0.45µm 主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.45µm N.A.0.57 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光现场20mm*20mm 对准精度 LSA：100nm FIA：110nm |
