Nikon NSR 2005i9C步进式光刻机

Nikon NSR 2005i9C

1.Nikon NSR 2005i9C步进式光刻机

光源波长365nm

分辨率优于0.45µm

用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.45µm

N.A.0.57

曝光光源365nm

倍率5:1

最大曝光现场20mm*20mm

对准精度

LSA：120nm

FIA：130nm

3.更多服务

提供中英文软件及2"、4"、6"、8"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材