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Nikon NSR 2005i8A步进式光刻机
详情介绍 Nikon NSR 2005i8A 1.Nikon NSR 2005i8A步进式光刻机 光源波长365nm 分辨率优于0.5µm 主要用于2寸、4寸、6寸、8寸生产线 广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域 2.产品详情 主要技术指标 分辨率0.5µm N.A.0.6 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光现场20mm*20mm 对准精度LSA：120nm FIA：130nm 3.更多服务 提供中英文软件及2"、4"、6"、8" 设备硅片改造 常年提供所有备件、耗材 |
