Nikon NSR 1755/1505i7A/B步进式光刻机

Nikon NSR 1755/1505i7A/B

1.Nikon NSR 1755/1505i7A/B步进式光刻机

光源波长365nm

分辨率优于0.6µm

主要用于2寸、4寸、6寸生产线

广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域

2.产品详情

主要技术指标

分辨率0.6µm

N.A.0.6

曝光光源365nm

倍率5:1

最大曝光现场15mm*15mm

17.5mm*17.5mm

对准精度140nm

3.更多服务:

提供中英文软件及2"、4"、6"设备硅片改造

常年提供所有备件、耗材