光学轮廓仪

v 测量模式：PSl, USl, VSl, 选配的 Film

v 最大扫描量程：≤10 mm

v 横向分辨率：

0.38 um minimum (Sparrow criterion)

0.13 um (with AcuityXR)

v 垂直分辨率：<0.01 nm

v 台阶高度重复性：<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatability

v 最大扫描速度：122 um/sec (with laser reference)

v 样品反射率范围：0.05% to 100%

v 样品尺寸：350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ；249 mm H 自动样品台

v 最大样品重量：45 kg (77 kg without standard stage)

v XY 品台：300 mm 自动样品台

v Z 轴聚焦：249(350 mm 不带自动台)

v 光源：专利双LED光源

v 物镜：

Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

LWD: 1X, 2X, 5X，10X

TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

v 放大器：0.55X，0.75X，1X，1.5X, 2X auto-sensing modules