v FE-SEM获得的图像分辨率高,信息丰富,样品处理相对简单,并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构,因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域
v 电子枪种类:冷场发射
v 二次电子图象分辨率:0.6 nm@15kV;0.7nm@1kV
v 放大倍数:20-2,000,000x
v 加速电压:0.5-30kV