Nikon SF120/130
1.Nikon SF120/130步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.28µm
主要用于6寸、8寸及12寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
2.产品详情
主要技术指标
分辨率0.28µm
N.A.0.62
曝光光源365nm
倍率4:1
最大曝光现场25mm*33mm
对准精度LSA：40nm
FIA：45nm
3.更多服务
提供中英文软件及6"、8"、12"设备硅片改造
常年提供所有备件、耗材
