v FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域v 电子枪种类：冷场发射v 二次电子图象分辨率：0.6 nm@15kV；0.7nm@1kVv 放大倍数：20-2,000,000xv 加速电压：0.5-30kV

v 配备了高灵敏度sCMOS相机、超广视野的蒙太奇系统以及光学显微镜图像的联动功能，是一款新型的高通量、高分辨率 的120kV透射电子显微镜v TEM分辨率 (nm)：0.14v 加速电压：10 ～ 120kVv 倍率（TEM）：×10～1,500,000v 样品倾斜角：Tilt-X   ±70°(高倾斜样品杆)v 最多样品装填数：4

v FIB是将离子源产生的离子束经过离子枪加速，聚焦后作用于样品表面，应用于：产生二次电子信号取得电子像，此功能与SEM相似，用强电流离子束对表面原子进行剥离,以完成微、纳米级表面形貌加工，通常是以物理溅射的方式搭配化学气体反应，有选择性的剥除金属，氧化硅层或沉积金属层v 芯片领域应用：IC芯片电路修改，Cross-Section 截面分析，FIB透射电镜样品制备，材料鉴定v 液态金属离子源：分辨率3nm@30kv   120nm@1kvv 检测器：Inlens SE、Inlens EsB、VPSE(可变气压二次电子探测器)、SESI（二次电子二次离子探测器）、aSTEM（扫描透射电子探测器）、aBSD（背散射探测器）

v 测量模式：PSl, USl, VSl, 选配的 Filmv 最大扫描量程：≤10 mmv 横向分辨率：0.38 um minimum (Sparrow criterion)0.13 um (with AcuityXR)v 垂直分辨率：<0.01 nmv 台阶高度重复性：<0.75%   <0.125% 1 sigma repeatabilityv 最大扫描速度：122 um/sec (with laser reference)v 样品反射率范围：0.05% to 100%v 样品尺寸：350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ；249 mm H 自动样品台v 最大样品重量：45 kg (77 kg without standard stage)v XY 品台：300 mm 自动样品台v Z 轴聚焦：249(350 mm 不带自动台)v 光源：专利双LED光源v 物镜：Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115XLWD: 1X, 2X, 5X，10XTTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10XSingle-objective adapter; Optional motorized five-position turretv 放大器：0.55X，0.75X，1X，1.5X, 2X auto-sensing modules

v 测量功能：二维表面轮廓测量 /可选三维测量v 样品视景：可选放大倍率，1 to 4mm FOVv 探针压力：使用LIS 3 传感器 1至15mgv 低作用力：使用N-Lite+低作用力传感器: 0.03至15mgv 探针曲率半径可选范围: 50nm至25 umv 高径比(HAR)针尖: 10um x 2um和200um x 20um   可按客户要求定制针尖v 样品X/Y载物台：手动X-Y平移：100mm (4英寸）机动X-Y平移：150mm (6 英寸)v 样品旋转台：手动，360° 旋转    机动，360°旋转 v 扫描长度范围：55mm(2英寸)v 每次扫描数据点：最多可达120.000数据点v 最大样品厚度：50mm(2英寸)v 最大晶圆尺寸：200mm(8英寸)v 台阶高度重现性：<4A，1sigma在1um台阶上v 垂直范围：1mm(0.039英寸)v  垂直分辨率：最大1A (6.55um垂直范围下)

v 智能X射线衍射仪SmartLab系列，可以广泛应用于各种材料结构分析的各个领域。可以分析的材料包括：金属材料、无机材料、复合材料、有机材料、纳米材料、超导材料。可以分析的材料状态包括：粉末样品、块状样品、薄膜样品、微区微量样品v 主要应用：Ø 粉末样品的物相定性与定量分析Ø 计算结晶化度、晶粒大小Ø 确定晶系、晶粒大小与畸变Ø Rietveld定量分析Ø 薄膜样品分析，包括薄膜物相、多层膜厚度、表面粗糙度，电荷密度Ø In-Plane装置可以同时测量样品垂直方向的结构及样品深度方向的结构Ø 小角散射与纳米材料粒径分布Ø 微区样品的分析

v Keysight M8199A 任意波形发生器（AWG）拥有 4 个 128 GSa/s 采样率的通道，或 2 个 256 GSa/s 采样率的通道，标称模拟带宽高达 70 GHzv 这款先进的任意波形发生器与当今市场上的常见解决方案相比，采样率翻了一番，模拟带宽增加了 50%v 作为高性能任意波形信号源，M8199A 可帮助客户开发波特率高达 140 Gbaud 的设计，包括适用于 TB 级传输系统的先进元器件v 高达 70 GHz 分析带宽v 内置频率和相位响应校准，可以提供纯净的输出信号v 6 位有效位数（ENOB），直流至 50 GHz 频率范围，Fs 100 GSa/sv 固有抖动 < 75 fsv 连续采样率范围为 100 至 128 GSa/s（四通道）、200 至 256 GSa/s（双通道）

v CX3324A 是一款具有 14 位或 16 位分辨率的 4 通道主机。 其存储器深度和带宽可以分别升级至 256 MSa/s 和 200 MHz。支持数字通道 v 主机功能特性：Ø 为电流和差分传感器以及无源探头接口适配器提供 4 个模拟通道Ø 带宽选件：50 MHz、100 MHz、200 MHzØ 存储器深度选件：4 Mpts/通道、16 Mpts/通道、64 Mpts/通道、256 Mpts/通道Ø WXGA 14.1 英寸电容式多点触控屏v 测量功能：Ø 14 位或 16 位动态范围Ø 经过优化，能够采集低噪声电流传感器的输出Ø 1 GSa/s 采样率和 200 MHz 最大带宽Ø 提供常见的触发类型和数学函数

v 10 MHz 至 67 GHz，1 个信号源 2 端口和 2 个信号源 4 端口、信号源和接收机衰减器、偏置 T 型接头、脉冲发生器和调制器、噪声系数以及优秀的射频性能v 性能出众的微波网络分析仪帮助您应对更苛刻的测量挑战v 以超低不确定度和超高稳定度执行 S 参数测量v 利用应用软件简化设置，高效表征有源元器件v 多点触控屏和直观的用户界面帮助您加速洞察元器件特性v 通过定制化配置得到恰当的性能，同时兼顾您的预算和测量需求

v M9484C VXG 是是德科技第一款矢量信号发生器，在每个通道上提供 2.5 GHz 调制带宽，能够生成高达 54 GHz 的信号。 这款 VXG 矢量信号发生器可以组成经过校准和同步的全方位综合解决方案，帮助您更快测试下一代无线技术，例如 5G 和卫星通信v 覆盖从 9 kHz 到 54 GHz 的频率范围，还可通过 V3080A 扩频器进一步扩展到 110 GHzv 射频带宽：高达 2.5 GHzv 波形回放存储器：高达 4096 MSav 射频通道：1/2/4 通道

v 信号源分析仪：10 MHz 至 7 GHz、26.5 GHz 或 110 GHzv 信号源分析仪频率范围:Ø 射频输入频率范围：10 MHz 至 110 GHzØ 分析偏移频率范围：1 Hz 至 100 MHzØ 频率瞬态捕获范围：窄带时高达 80 MHz，宽带时高达 4.8 GHzv 信号源分析仪噪声测量功能：Ø 可进行相位噪声测量、AM 噪声测量和相位噪声测量Ø 可进行从 1 Hz 到 100 MHz 的基带噪声测量Ø 在实时模式下可提供高达 15 MHz 扫宽的频谱监测v 信号源分析仪分析功能：Ø 同时测量频率、相位和功率在不同时间的瞬态特征Ø 视频触发功能可用于捕获意外的频率变化Ø 出色的低噪声直流源（频率/功率/直流电源-电流与 Vc 和 Vs）支持全面的 VCO 表征Ø 能够进行飞秒级分辨率的时钟抖动测量

v 使用 N9042B UXA X 系列信号分析仪和各种测量应用软件，可以测试 5G、卫星、雷达等应用中的毫米波（mmWave）创新设计的真实性能v 具有卓越的误差矢量幅度（EVM），能够测试 5G NR 发射机的真实性能v 频率：2 Hz to 50 GHz, with V3050A 110 GHzv 1 GHz 时的 DANL：-174 dBmv 最大分析带宽：4 GHzv 1 GHz 时，10 kHz 频偏处的相位噪声：-135 dBc / Hz