v 本套系统主要用于材料表面形貌的观察；平面或三维测量。可采用3D观测模式，对被测物形状，粗糙度，表面积等进行测量，可以做高度，宽度，横截面，角度，R值，表面积，体积，线粗糙度，面粗糙度等的测量分析。同时可以做材料断口、金相的观测,陶瓷，微流道，微加工，现代加工制造,MEMS研究，微纳制造等v 光源类型：≤404nm半导体激光v X/Y方向测量显示分辨率：1nmv Z向测量显示分辨率：0.5 nmv 面扫描速度：≥125Hz、线扫描速度：≥7900Hzv 角度特性：稳定测量倾角≥87.1度的斜面v XY载物台电动运行范围：≥100mm*100mm

v 支持通过光学显微镜或图像测量仪（如Nikon NEXIV），对直径为6英寸（150mm）和8英寸（200mm）的半导体晶圆的创新设计和材料进行全方位检测v 超强的半导体晶圆装载机系列，能够将直径为6英寸（150mm）和8英寸（200mm）的晶圆转移到厚度为100微米（工厂制造选项）的尼康Eclipse L200N和LV150N显微镜或NEXIV VMZ-S视频测量仪器上v NWL200系列与尼康NEXIV影像测量仪器集成在一起，可在半导体生产和检测过程中快速         提供全精度和准确度v 支持半导体晶圆前图案侧、后周边和中心区域检测。可自动或手动设置晶圆旋转速度和倾斜角度

v 满足各种产品、零部件及材料在高温恒温环境下贮存、运输、使用时间适应性试验要求。采用定值和程序两种控制。定值控制可进行自动开始结束设定，适合于生产线热处理干燥处理。程序控制可进行10个模式，每个模式20步的程序设定。满足有温度上升、下降斜率设定的温度特性试验

v 新型冷冻机的使用，实现了大范围、高精度的温湿度控制v 40 模式可编程控制器、具有多种语言选择、试验数据U 盘存储、故障追溯功能、试验箱发生故障之前的运行状态会被自动记录并保存

v 温度范围：周围环境温度+50 +200℃   -70~0℃   3温区v 高温曝露到+200℃：15分钟以内v 常温曝露：5分钟v 低温曝露：-65℃15分钟v 温度恢复时间：10分钟以内

v 脉冲发生器电压范围 ±100v,解析度0.3mVv 脉冲宽度 1us-1000sv 电容测量的高频信号 1M Hzv 电容补偿范围   1pF- 3300pFv HF–频率: 1M Hzv HF-信号: 100mVv 电容测试范围 2pF,20pF,200pF,2000pF,自动或手动v 电容测试灵敏度 0.01fFv 电流放大器最大测试电流: 15mAv 电流放大器电流分辨率 10pAv 数字瞬态记录器最大采样 64000点v 数字瞬态记录器采样间隔 2us-4sv 耦合方式提供28种耦合方式,包括Boxcar和Lock-in方式.一次变温即可得到28组曲线和数据点       v 单个温度点测试参数序列单温度点设置18种测试参数序列,无需重复变温即可得到不同测试参数

v 配备集成电脑及显示屏一体机箱，包含高精度电流测量模块、电容测量模块、超快脉冲模块，配合专用数据测量分析软件，无需外接其他仪表即可实现I-V曲线，I-t曲线，C-V曲线及C-f曲线的测量并能在屏幕实时显示测量结果v 电流测量精度≤0.1 fA，最小可测量电流≤20 fAv 最大电流测量量程≥0.1 A，最大输出功率≥2 Wv 电流测量精度10 fA时，电流表的最短采样时间间隔100 μsv I-V特性测试及C-V特性测试切换时，无须更改电路v 实现不同频率交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） 的测量，频率范围1 kHz-5 MHz，最小频率步进≤1 mHzv 电容测量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF（5 MHz）v 电容测量范围5 fF-1 nF，电压0至±25V，步进≤1 mVv 具有脉冲输出及采集模块，脉冲输出电压峰值10 Vv 脉冲采样最大采样率≥200 MSa/s，最小采样时间5 nsv 具有瞬态波形捕获模式v 具有任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率10 ns

v 这款 LCA 是测试高达 67 GHz 的电光元器件的理想解决方案。它同样适用于测试 40G/100GbE、400Gbit/s 和 1 Tbit/s 相干传输系统、光纤无线电（RoF）以及航空航天与国防（A&D）电光测试应用中的电光元器件v 绝对频率响应准确度：v 在 50 GHz 时为 < 0.9 dBe（典型值）v 在 67 GHz 时为 < 1.3 dBe（典型值）v 相对频率响应准确度：v 在 50 GHz 时为 < 0.5 dBe（典型值）v 在 67 GHz 时为 < 1.3 dBe（典型值）v 本底噪声：v 在 67 GHz 时为 < - 59 dB（W/A）（电光测量）v 在 67 GHz 时为 < - 55 dB（A/W）（光电测量）具有任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率10 ns

v Keysight N1000A DCA-X 宽带宽示波器可以对 50 Mb/s 到 224 Gb/s 的高速数字设计执行精准测量。 您还可以为 N1000A DCA-X 主机选配插入式模块，满足您对带宽、过滤和灵敏度的需求。v DCA-X 平台由主机和各种模块组成，可以执行灵活的测试v DCA-X 系列分析仪的一致性和灵活性可确保高精度的测量v 支持当前的模块，以及已经停产的旧款光、电和 TDR 模块，避免您的投资过时v 测试带宽 > 110 GHz，抖动最小为 50 fs，噪声最低为 275 uVv 采样率高达 250 kSa/s，支持最多 16 个通道，实现高测试吞吐量v 主机可选配插入式模块组成定制测试系统，执行精密的光、电和/或 TDR/TDT/S 参数分析

v Keysight 8164B 主机是用于光器件测试的一款基础平台，可以容纳一个是德科技可调谐激光源和最多 4 个紧凑型模块。 更新：用户现可通过 LAN 或 GPIB 接口进行远程编程v 1 个插槽用于安装可调谐激光源v 4 个插槽用于安装电源模块、回波损耗模块、紧凑型可调谐激光源或固定激光源v 内置应用软件：（无源元器件测试、稳定度、日志记录等功能）v 丰富的触发功能v 用于远程控制的 LAN 和 GPIB 接口

v 光调制分析仪支持多种先进调制方案，是 600 Gb/s 至 1.2 Tb/s 传输市场的理想选择v ADC分辨率：10位v 模拟带宽：70GHz（选项007）；110GHz（选项011）v EVM噪声下限：在2.5 GHz频率偏移时<1.6%；频率偏移为10 GHz时为<2.9%v 最大可检测符号速率：140 Gbaud（选项007）；220 Gbaud（选项011）v 最大记录长度：最大2 GSa。；200 MSa标准v 工作频率范围：直流至110 GHz（取决于范围选项）

v 高性能比特误码率测试仪覆盖所有类型的 400 GbE 标准测试，并且支持 PAM4 和 NRZ 信号以及高达 64 Gbaud 的数据速率v M8040A 高性能 BERT 的跳变时间更短，固有抖动更低，能够提供数据速率高达 64 GBaud 的纯净 NRZ 和 PAM4 信号。 M8040A 的远程前端和 1.85 mm 短电缆使测试点可以尽量接近被测器件，最大限度降低有损通道造成的信号衰减v 2 至 64 Gbaud 的 PAM4 信号数据速率v 真正的实时 PAM4 误码检测能力，数据速率高达 58 Gbaudv 内置去加重、分析仪均衡和时钟恢复功能v 整合和校准过的抖动注入：RJ、PJ1、PJ2、SJ、BUJ 和时钟/2 抖动v 每个模块有两个码型发生器通道，用于仿真干扰源通道v 8/16/32/64 GT/s PCI Express® 交互式链路训练和 SKP OS 过滤v 可以通过算法生成 PRBS、QPRBS 码型，也可以使用保存在存储器中的码型或是通过码型序列发生器生成的码型v 用于 PAM4、Gray 编码、FEC 编码、预编码器和误码分布分析v 所有选件和模块均可升级v 提供真正的误码分析功能，能够提供准确且可重复的测量结果，从而优化您的器件的性能裕量