v Comet Yxlon FF35 CT X射线系统是一种创新的多功能高分辨率 CT 系统，用于研发和质量保证领域。FF35 CT 符合 SEMI® 的严苛标准（包括 SEMI® S2-0818 和 SEMI® S8-0218 危险和安全标准）并通过了相应的认证v 应用行业: 汽车制造, 微电子, 航空航天, 科研开发, 铸造, 半导体, 增材制造v FF35 CT可检测哪些物体：Ø 电子器件，包括SMDØ 增材制造零件、纤维增强塑料Ø 电池电芯和模组Ø 注塑成型塑料Ø 微系统 (MEMS, MOEMS)Ø 医疗用品，例如插管Ø 轻合金铸件Ø 地质、古生物和生物样本v FF35 CT 用于哪些应用：质量保证、材料分析和研究、失效与结构分析、装配检查、小批量生产检验、过程控制、数字化、无损剖切v 缺陷尺寸: <1µm 缺陷, <50µm 缺陷, <1mm 缺陷, >1mm 缺陷v 样品尺寸: 小型, 中型, 大型v 射线源：v 运行模式: 3D, 2D/3D, 计量v 样品直径：530 [mm] (20.9")v 样品高度：800 [mm] (31.5")v 最大样品重量：27 [kg]v CT 模式：QuickScan®快速扫描, 质量扫描, 锥束 CT, 螺旋 CT, 虚拟旋转轴, 视场扩展，批量扫描v 单或双射线管配置，可最大限度提高实验室微焦点CT应用多功能性v 只需轻触一个按钮，即可在数秒内在 225 kV Micro-focus管和190 kV Nano-focus管之间自如切换v 花岗岩底座操控和温控，确保精确的结果v 通过Geminy软件平台进行各种CT轨迹和视场 (FoV) 扩展，应用灵活v 可选计量版本，测量精度可达 MPESD = 5.9 µm + L/75 [L in mm]

v X-Ray是利用阴极射线管产生高能量电子与金属靶撞击，在撞击过程中，因电子突然减速，其损失的动能会以X-Ray形式放出。而对于样品无法以外观方式观测的位置，利用X-Ray穿透不同密度物质后 其光强度的变化，产生的对比效果可形成影像，即可显示出待测物的内部结构，进而可在不破坏待测物的情况下观察待测物内部有问题的区域v 检测内容：Ø 观测DIP、SOP、QFP、QFN、BGA、Flipchip等不同封装 的半导体、电阻、电容等电子元器件以及小型PCB印刷电路板 Ø 观测器件内部芯片大小、数量、叠die、绑线情况 Ø 观测芯片crack、点胶不均、断线、搭线、内部气泡等封装 缺陷，以及焊锡球冷焊、虚焊等焊接缺陷v 样品尺寸：440 x 550 [mm] (17'' x 21'')v 最大投射面积：310 x 310 [mm] (12'' x 12'')v FeinFocusX射线管：FXT-160.50 微焦点 或 FXT-160.51 复合焦点, 20 - 160 kV 电压范围v 探测器有效面积：1004 x 620 px (Y.Panel 1308), 1004 x 1004 px (Y.Panel 1313), 1276 x 1276 px (ORYX 1616)v 像素间距：127 µmv 灰度：16 bitv 倾角范围：+/- 70° (140°）v  三维模式：平面层析扫描 (micro3Dslice), CT快速扫描, 质量扫描

v 探针台主要应用于晶圆、芯片、器件、封装等半导体制程测试环节v 样品尺寸：碎片~12英寸v 自动化：手动、半自动、全自动v 测试环境：高低温、磁场、真空v 探针台类型：分析探针台、直流、射频、高压、毫米波、太赫兹、硅光测量、芯片级测量、定制化等

v 系统功能：用于测量半导体材料的电阻率/电导率、流动性、散装/片状载体浓度、掺杂类型、霍尔系数、磁阻、垂直/水平阻力比的半导体高性能霍尔系统。模块化设计理念，允许轻松升级，该系统适用于各种材料，包括硅和化合物半导体和金属氧化物膜等v 该系统具有低电阻率和高电阻率测量功能，具有双重温度功能和一个可选的低温恒温器，可扩展该系统温度范围从90K到500Kv 方块电阻量程：10-4 Ω/sq ~ 106Ω/sqv 载流子浓度量程：106 ~ 1021 cm-3v 载流子迁移率量程：1 ~ 107 cmv 四个微调探针座，探针直接形成ohm接触，无需焊线或制作PCB板v 最大样品测量直径：25mm

v Smart SE 是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）v 光谱范围：450nm to 1000nmv 光谱分辨率：优于3nmv 光源：卤素灯和蓝光LEDv 测试时间：小于1秒到10秒v 光斑尺寸:Ø 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,Ø 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,Ø 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,Ø 500µm*500µmv 入射角：450 to 900 ，步径50v 样品尺寸：200mm以内v 样品准直：手动调整样品台高度（17mm以内）和倾角v 空气对射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20v 厚度准确性：0.04%v 厚度重复性：±0.02%v 可选附件：Ø 全自动量角器，入射角度从450 到900可调，步径0.010Ø 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测Ø 冷热台，液体样品池和电化学反应池Ø  十字星自准直系统

v 系统功能：快速获得详细的图像和分析，非常适合于微观和宏观测量，提供先进的二维和三维共聚焦成像能力。LabRAM Odyssey™具有高性能和直观的简易性，广泛用于标准拉曼分析、光致发光(PL)、 针尖增强拉曼光谱 (TERS) 和其他联用分析方法。通过简单的AFM 升级，从微米尺度转向纳米光学世界

v 配备集成电脑及显示屏一体机箱，包含高精度电流测量模块、电容测量模块、超快脉冲模块，配合专用数据测量分析软件，无需外接其他仪表即可实现I-V曲线，I-t曲线，C-V曲线及C-f曲线的测量并能在屏幕实时显示测量结果v 电流测量精度≤0.1 fA，最小可测量电流≤20 fAv 最大电流测量量程≥0.1 A，最大输出功率≥2 Wv 电流测量精度10 fA时，电流表的最短采样时间间隔100 μsv I-V特性测试及C-V特性测试切换时，无须更改电路v 实现不同频率交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） 的测量，频率范围1 kHz-5 MHz，最小频率步进≤1 mHzv 电容测量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF（5 MHz）v 电容测量范围5 fF-1 nF，电压0至±25V，步进≤1 mVv 具有脉冲输出及采集模块，脉冲输出电压峰值10 Vv 脉冲采样最大采样率≥200 MSa/s，最小采样时间5 nsv 具有瞬态波形捕获模式v 具有任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率10 ns

v 这款 LCA 是测试高达 67 GHz 的电光元器件的理想解决方案。它同样适用于测试 40G/100GbE、400Gbit/s 和 1 Tbit/s 相干传输系统、光纤无线电（RoF）以及航空航天与国防（A&D）电光测试应用中的电光元器件v 绝对频率响应准确度：v 在 50 GHz 时为 < 0.9 dBe（典型值）v 在 67 GHz 时为 < 1.3 dBe（典型值）v 相对频率响应准确度：v 在 50 GHz 时为 < 0.5 dBe（典型值）v 在 67 GHz 时为 < 1.3 dBe（典型值）v 本底噪声：v 在 67 GHz 时为 < - 59 dB（W/A）（电光测量）v 在 67 GHz 时为 < - 55 dB（A/W）（光电测量）具有任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率10 ns

v Keysight N1000A DCA-X 宽带宽示波器可以对 50 Mb/s 到 224 Gb/s 的高速数字设计执行精准测量。 您还可以为 N1000A DCA-X 主机选配插入式模块，满足您对带宽、过滤和灵敏度的需求。v DCA-X 平台由主机和各种模块组成，可以执行灵活的测试v DCA-X 系列分析仪的一致性和灵活性可确保高精度的测量v 支持当前的模块，以及已经停产的旧款光、电和 TDR 模块，避免您的投资过时v 测试带宽 > 110 GHz，抖动最小为 50 fs，噪声最低为 275 uVv 采样率高达 250 kSa/s，支持最多 16 个通道，实现高测试吞吐量v 主机可选配插入式模块组成定制测试系统，执行精密的光、电和/或 TDR/TDT/S 参数分析

v Keysight 8164B 主机是用于光器件测试的一款基础平台，可以容纳一个是德科技可调谐激光源和最多 4 个紧凑型模块。 更新：用户现可通过 LAN 或 GPIB 接口进行远程编程v 1 个插槽用于安装可调谐激光源v 4 个插槽用于安装电源模块、回波损耗模块、紧凑型可调谐激光源或固定激光源v 内置应用软件：（无源元器件测试、稳定度、日志记录等功能）v 丰富的触发功能v 用于远程控制的 LAN 和 GPIB 接口

v 光调制分析仪支持多种先进调制方案，是 600 Gb/s 至 1.2 Tb/s 传输市场的理想选择v ADC分辨率：10位v 模拟带宽：70GHz（选项007）；110GHz（选项011）v EVM噪声下限：在2.5 GHz频率偏移时<1.6%；频率偏移为10 GHz时为<2.9%v 最大可检测符号速率：140 Gbaud（选项007）；220 Gbaud（选项011）v 最大记录长度：最大2 GSa。；200 MSa标准v 工作频率范围：直流至110 GHz（取决于范围选项）

v 高性能比特误码率测试仪覆盖所有类型的 400 GbE 标准测试，并且支持 PAM4 和 NRZ 信号以及高达 64 Gbaud 的数据速率v M8040A 高性能 BERT 的跳变时间更短，固有抖动更低，能够提供数据速率高达 64 GBaud 的纯净 NRZ 和 PAM4 信号。 M8040A 的远程前端和 1.85 mm 短电缆使测试点可以尽量接近被测器件，最大限度降低有损通道造成的信号衰减v 2 至 64 Gbaud 的 PAM4 信号数据速率v 真正的实时 PAM4 误码检测能力，数据速率高达 58 Gbaudv 内置去加重、分析仪均衡和时钟恢复功能v 整合和校准过的抖动注入：RJ、PJ1、PJ2、SJ、BUJ 和时钟/2 抖动v 每个模块有两个码型发生器通道，用于仿真干扰源通道v 8/16/32/64 GT/s PCI Express® 交互式链路训练和 SKP OS 过滤v 可以通过算法生成 PRBS、QPRBS 码型，也可以使用保存在存储器中的码型或是通过码型序列发生器生成的码型v 用于 PAM4、Gray 编码、FEC 编码、预编码器和误码分布分析v 所有选件和模块均可升级v 提供真正的误码分析功能，能够提供准确且可重复的测量结果，从而优化您的器件的性能裕量